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SIMCOION离子风棒5225
5225离子风棒是一款内置半导体超清洁生产装置的离子风棒。
产品特点：
l 采用在世界上无与伦比的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。
l 单晶硅电极材料在世界上拥有无与伦比的优势，可以避免重金属污染的风险与超低粒子的特性。
l 通过脉冲DC方式可以广范围的除电。
l 全程数字电路控制，实现稳定的离子发生方式及维护长时间的离子平衡。
l 除电物附近设置有5200-SR传感器，不仅是离子风棒，除电物附近的离子平衡的反馈数据也可以
l 得到控制（5200-SR没有接续的情况下，离子风棒内置的传感器可以自动调整离子平衡）
l 设定了适合半导体前工程用的EFEM长度的离子风棒。
l 离子发生力，离子产生时间，报警阈值等各种参数，在较大的范围内也可以设定。可以灵活的应对长距离操作及气流环境较弱的球境下的测量。
l 只有在输入相关的参数后可以得到较高的重复性及在短时间内的安置的可能。
l 装有简单的警报IO，通过利用无偿提供的DLL可以实时监控到时间进度把握程序装置内的运转状况。
产品规格：
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输入电压 |
通过24V AC, 50/60Hz, 1W Typ. IM6T供给。 |
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通信形态 |
RS485(IM6T～5225間) |
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输出电压 |
0kv～約+/-20kv |
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输出形态 |
脉冲DC模式、稳态DC模式（可选） |
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输出电流 |
15micro A电流及电压控制电路内置 |
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连接器 |
RJ11 , 四极四芯 |
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离子发生情况 |
最小0.1秒，最大10秒,根据正负极可设定 |
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电极 |
单晶硅电极 可交换 |
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臭氧产生量 |
<0.005ppm（24小时累计测定） |
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对应清洁度 |
ISO Class1, 0.1 micron |
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尺寸 |
高53mm x 宽31mm x 長569mm (-22), 721mm(-28), 907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64), 1918mm(-76) 及び 2144mm (-84) |
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重量 |
-22:1.02kg 每增重30cm增重0.1kg |
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外形 |
ABS树脂 |
l 采用在世界上无与伦比的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。
l 单晶硅电极材料在世界上拥有无与伦比的优势，可以避免重金属污染的风险与超低粒子的特性。
l 通过脉冲DC方式可以广范围的除电。
l 全程数字电路控制，实现稳定的离子发生方式及维护长时间的离子平衡。
l 除电物附近设置有5200-SR传感器，不仅是离子风棒，除电物附近的离子平衡的反馈数据也可以
l 得到控制（5200-SR没有接续的情况下，离子风棒内置的传感器可以自动调整离子平衡）
l 设定了适合半导体前工程用的EFEM长度的离子风棒。
l 离子发生力，离子产生时间，报警阈值等各种参数，在较大的范围内也可以设定。可以灵活的应对长距离操作及气流环境较弱的球境下的测量。
l 只有在输入相关的参数后可以得到较高的重复性及在短时间内的安置的可能。
l 装有简单的警报IO，通过利用无偿提供的DLL可以实时监控到时间进度把握程序装置内的运转状况。
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